螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
 

　　國內(nèi)外生產(chǎn)概況：
 

　　1、國內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè)，從2004年起便開始進行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國內(nèi)干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據(jù)的時候，國內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn)，并得到國家的大力支持獲得各類省級科技獎項和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對不同工藝條件，其過流部件(即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
 

　　2、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵，它是一種全新的設(shè)計，是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過程，泵腔內(nèi)無軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命長。